silane gasとは
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silane gas の意味・使い方・読み方
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silane gas
《化学》シランガス◆ケイ素｛そ｝と水素｛すいそ｝から成る無機化合物｛むき かごうぶつ｝で、半導体製造｛はんどうたい せいぞう｝などに使用｛しよう｝されるガス。
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